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型號:

智能勻膠機

描述:智能勻膠機英文SPIN COATE 或者SPIN PROCESSOR ,又稱甩膠機,勻膠臺,旋轉(zhuǎn)涂膜儀,旋涂儀。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時間

    2024-02-20
  • 訪問量

    3441
詳細介紹
品牌君為科技


1.智能勻膠機簡介:

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,方便實用。

2.智能勻膠機特點:

1.結構緊湊,適合直接放于手套箱 內(nèi)操作;2. 7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設置一鍵啟動按鈕, 操作方便;3 .可單步和多步勻膠操作;4. 工業(yè)級馬達,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),運行穩(wěn)定;5. 溶劑PC透明蓋;6. 真空泵與勻膠機同步工作,勻膠機旋轉(zhuǎn),真空泵就啟動,勻膠機停止,真空泵就停止;7. 設置有開機密碼功能,提高設備操作安全性;8. 左上面配有載物槽,(φ28深16)放藥水瓶更加方便。

技術參數(shù):

外形尺寸:335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)

標配三種真空吸盤(φ10mm,φ20mm,φ45mm)

φ10mm吸盤(可載基片最小φ10mm   最大φ20mm)

φ20mm吸盤(可載基片最小φ20mm   最大φ47mm)

Φ45mm吸盤(可載基片最小φ37mm   最大φ55mm)

速度可調(diào)范圍:200-10000rpm

減速可調(diào)范圍:300-3000RPM/S

轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM

旋轉(zhuǎn)時間范圍:1-3000S

加速可控范圍:300-5000RPM/S

可編程5組5步程序

真空輸入:0.06-0.09Mpa,真空流量最小15L/Min

真空接口:設備后面板出口外徑6mm

電源輸入: 220V  150W




 
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